品牌：中图仪器
品牌：CHOTEST中图仪器
型号：VT6100
浏览量：4535次
- 价 格：面议
- 起订量：1 台
- 发货地：广东 深圳市 南山区
- 发货期限：30天内发货
- 供货总量：99 台
- 有效期至：长期有效
- 最后更新：2023-08-28 21:41
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深圳市中图仪器股份有限公司
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品牌名称：深圳市中图仪器股份有限公司
在材料生产检测领域中，VT6000高分辨率激光共聚焦显微镜结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描，可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
技术指标
| 型号 | VT6100 | |
行程范围 | X | 100mm |
| Y | 100mm | |
| Z | 100mm | |
| 外形尺寸 | 520*380*600mm | |
| 仪器重量 | 50kg | |
| 测量原理 | 共聚焦光学系统 | |
| 显微物镜 | 10×;20×;50×;100× | |
| 视场范围 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | |
| 高度测量 | ||
| 宽度测量 | ||
| XY位移平台 | 负载 | 10kg |
| 控制方式 | 电动 | |
| Z0轴扫描范围 | 10mm | |
| 物镜塔台 | 5孔电动 | |
| 光源 | 白光LED | |
产品功能
(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；
(2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；
(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；
(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；
(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；
功能特点
(1)测量模式多样
单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择，适应多种现场应用环境；
(2)双重防撞保护功能
VT6000高分辨率激光共聚焦显微镜Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重保护；
(3)分析功能丰富
3D：表面粗糙度、平整度、孔洞体积、几何曲面、纹理方向、PSD等分析；
2D：剖面粗糙度、几何轮廓测量、频率、孔洞体积、Abbott参数等分析。
应用场景
1、镭射槽
测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。
2、光伏
在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。
3、其他
VT6000高分辨率激光共聚焦显微镜所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。在相同物镜放大的条件下，共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。
深圳市中图仪器股份有限公司
进入公司首页中图仪器坚持以技术创新为发展基础，拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队，历经20年的技术积累和发展实践，研发出了基础计量仪器、常规尺寸光学测量仪器、微观尺寸光学测量仪器、大尺寸光学测量仪器、常规尺寸接触式测量仪器、微观尺寸接触式测量仪器、行业应用检测设备等全尺寸链精密仪器及设备，能为客户提供从纳米到百米的精密测量解决方案。
查看更多 >| 公司名 | 深圳市中图仪器股份有限公司 | 经营模式 | 制造商 |
|---|---|---|---|
| 注册资本 | 暂未公布 | 注册时间 | 2005 |
| 公司所在地 | 广东 深圳市 南山区 | 企业类型 | 企业单位 |
| 资料认证 |
 企业资料通过认证 |
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| 主营行业 | 仪器仪表、 | ||
| 主营产品或服务 | 影像测量仪|一键闪测仪|三坐标测量仪|激光测量仪 | ||
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