当前位置:首页 » 能源产品供应 » 供应 » 仪器仪表 » 量具 » 其他量具

VIEW MicroLine 300

品牌:QVI VIEW

X,Y,Z 行程 (mm):300x300x25

产地:美国

保修期:1年

浏览量:4381次

  • 价   格:面议
  • 起订量:1 台
  • 发货地:广东 东莞市
  • 发货期限:30天内发货
  • 供货总量:100 台
  • 有效期至:长期有效
  • 最后更新:2023-09-12 19:26

普通会员

品牌名称:东莞市天测光学设备有限公司

MicroLine-300是一款桌上型半自动CD测量系统。

 

主要技术参数:

 

◆    测量范围(XYZ):标准:200×200×25mm;可选:300x300x25

◆    视场内测量精度:10nm(100X 镜头);Z轴ju jiao范围:25 mm

◆    视场内测量范围:0.5um~400um;

◆    视场内测量重复性(100x 物镜):  晶圆上<0.010um(1δ); 

                                                   掩模板上0.005um(1δ);   

◆    承重:2kg

◆    标配镜头10x,可选镜头:5X, 20X, 50X, 100X

 

 

MicroLineTM 300是一款高性能测量晶圆、光罩、MEMS和其他微加工设备等关键尺寸的自动化测量系统。该系统配备了高质量光学显微镜和精密移动平台,可对200mm的晶圆上0.5µm到400µm的特征尺寸进行全自动的精密视场测量。

 

n  200 x200mm精密X-Y平台

n  基于视觉的自动ju jiao获得某佳影像质量

n  自动照明可编程光强

n  用于测量透明层、不规则边缘的线、厚膜等的强劲性能

n  完全可编程的序列,包括自动ju jiao和关键尺寸测量

n  电动的6目物镜转换器,软件控制

n  可选的透射照明

技术规格:

- 测量行程: 200 x 200 x25mm(XYZ)

- 平台运行: 交叉滚轴手动同轴定位和快速释放

- 视场内的测量精度: 0.010µm (用100x物镜)

- 特征尺寸: 视场内0.5µm - 400µm

- FOV测量重复性: <0.010µm on wafers (用100x物镜)

<0.005µm on photomasks (用100x物镜)

- 照明: 石英卤素灯, 反射光

      自动照明

- 低噪音CCD VGA格式摄像头

- 图像处理60帧每秒

MicroLine 300的典型应用包括:

l  晶圆

l  光罩

l  MEMS

l  微型组件

测量类型:

n  关键尺寸:

线宽  Linewidth

节距  Pitch

间隙  Spacing

n  Overlay

            Multi-layer registration

Box in box

Circle

Edge roughness

Butting error


供应商信息

东莞市天测光学设备有限公司

进入公司首页

东莞市天测光学设备有限公司(TianCe Optical Equipment Co.,LTD.)是一家专业从事测量仪器销售和服务的高新技术企业。公司坐落在中国制造业名城广东省东莞市.公司本着“诚信、专业、务实、创新”的经营理念,坚持“以质量求生存、以信誉求发展”为企业宗旨,为客户提供高质低价的产品和服务,获得珠三角客户广泛好评。    公司专业从事美国QVI产品、法国Keron 关节臂三坐标测量仪、等国际著名品牌测量仪器的销售、安装、维修、校正、保养、升级等服务。公司拥有完善的样品测试中心和方案评估实验室,可为客户提供完善的测量解决方案,公司附设1200...

查看更多 >
公司名 东莞市天测光学设备有限公司 经营模式贸易商,服务商
注册资本100万人民币 注册时间2014
公司所在地广东 东莞市 企业类型企业单位
资料认证      企业资料通过认证
主营行业 仪器仪表 / 量具
主营产品或服务 美国QVI产品、法国Keron 关节臂三坐标测量仪、等国际著名品牌测量仪器的销售、安装、维修、校正、保养、升级等服务。公司拥有完善的样品测试中心和方案评估实验室,可为客户提供完善的测量解决方案,公司附设800平米的机器展示中心,可为企业,学校及研究机构提供三维尺寸测量,三维激光扫描,测量仪应用培训等服务。
联系方式
评论信息
0条 [查看全部]   相关评论

同类供应信息推荐

免责声明
当前页为VIEW MicroLine 300价格信息展示,该页所展示的VIEW MicroLine 300批发价格、VIEW MicroLine 300报价等相关信息均由东莞市天测光学设备有限公司自行提供,VIEW MicroLine 300价格真实性、准确性、合法性由店铺所有企业——东莞市天测光学设备有限公司完全负责。
本网站不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷,纠纷由您自行协商解决。

国际能源网站群

国际能源网 国际新能源网 国际太阳能光伏网 国际电力网 国际风电网 国际储能网 国际氢能网 国际充换电网 国际节能环保网 国际煤炭网 国际石油网 国际燃气网
×