品牌:首昂光电
控制方式:PLC+触摸屏+电脑主机
加工定位方式:自动上下料&自动对位
效率(裂片):>120片/h
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- 价 格:299999.00元/台
- 起订量:1 台
- 发货地:上海 奉贤区
- 发货期限:30天内发货
- 供货总量:10 台
- 有效期至:长期有效
- 最后更新:2023-03-20 16:12
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首昂光电(上海)有限公司
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品牌名称:首昂光电(上海)有限公司
晶圆全自动裂片机
产品介绍:
1)广角轮廓相机,进行轮廓识别,自动校正硅片角度;
2)高精度CCD相机,进行全自动水平修正及位置修正;
3)压力可控,实时显示压力数值;
4)自动覆膜、喷液、放片;
5)带连片检测功能,无连片;
6)可兼容4英寸、5英寸的晶圆片;
7)全自动上下料功能,无人值守式全自动运行(料盒方式,整盒上下料),产品批量化生产。
技术参数:
设备型号 MSW-WSU-A
控制方式 PLC+触摸屏+电脑主机
对位方式 相机识别自动对位
传送方式 伺服电机
裂片力度 压力传感器(压力大小可调)
喷液喷头 雾状喷头
故障处理 各个故障都带报警提示功能
端口 预留MES端口
加工定位方式 自动上下料&自动对位
效率(裂片) >120片/h
应用范围:
适用于半导体产业中的GPP晶圆的裂片。
首昂光电(上海)有限公司
进入公司首页十五年深耕激光设备研发,十五年扎根半导体行业应用,造就了首昂光电深厚的技术沉淀以及独特的行业视角,我们一直致力于把更好的激光与自动化技术带入半导体行业。作为国内首批将激光应用于二极管、三极管及可控硅晶圆划切的领军者,公司技术团队正积极将激光技术应用到更宽广的半导体领域,助力中国半导体行业走向高端与自主可控。公司已储备大量基础加工技术,正稳步推进一系列拥有自主知识产权的新工艺、新应用,在多个关键制程设备上达到行业领先水平,完美实现国产化替代。
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