品牌名称：北京清华阳光能源开发有限责任公司
绝大多数厂家生产的全玻璃真空太阳集热管涂层都以渐变Al-N/Al选择性吸收涂层为主，由于该涂层在减反层的沉积率很低，因此其热性能不够理想。大多数选择性吸收涂层的太阳吸收比都在国家标准附近波动（国家标准中太阳吸收比为0.86）；国内有的企业推出的干涉型Cu/Al-SS-N/AlN选择性吸收涂层，虽然其吸收比较高，但在涂层制备过程中需要三种靶材切换工作，设备也相对复杂，可靠性和稳定性差，维护量大，同时仍然存在沉积率低的问题，因此其制备成本很高，价格比普通集热管高出很多，很不利于市场推广。这个问题在国内普遍存在，极大地影响批量生产的全玻璃真空太阳集热管的光-热转换效率。
2003年，清华阳光公司成功研制高吸收、低发射选择性吸收涂层，此新型渐变-干涉选择性吸收涂层和纳米涂层技术，太阳吸收比高达0.96，热发射比仅为0.05，均已接近理论极限，创造真空集热管技术奇迹。
要制备这样的涂层，集热性能基本上达到了理论极限，难度很大。
首先，改变涂层结构，使涂层结构更合理。基本方案是在现有的单靶磁控溅射镀膜机制备渐变铝-氮/铝选择性吸收涂层工艺基础上，制备干涉-渐变结构的铝-氮/铝选择性吸收涂层，使涂层结构更合理，吸收比更高，发射比更低，稳定性更好。
其次，提高减反层沉积率，增加减反层厚度。由于现有镀膜机工作原理及反应磁控溅射镀膜工艺特性，作为渐变Al-N/Al选择性吸收涂层减反层的金属氧化物、氮化物的沉积速率很低，一般在1~1.5nm/min，而高吸收选择性吸收涂层的减反层厚度一般要求在60nm左右，因此不适合现有的选择性吸收涂层全玻璃真空集热管的生产要求，生产效率极低。
通过研制、使用新型反应气体流量控制单元，实现选择性吸收涂层，减反层沉积过程中反应气体流量的脉冲控制，将工艺控制在反应磁控溅射过程中的过渡层阶段，从而在不降低减反层特性的条件下，提高作为选择性吸收涂层的金属氮化物的沉积速率，降低生产成本。
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北京清华阳光能源开发有限责任公司
进入公司首页北京清华阳光能源开发有限责任公司（下简称：清华阳光公司）是由清华大学所属的清华控股旗下高新技术企业。公司以太阳能光热利用技术为核心，集产品研发、生产制造、工程设计和市场营销为一体，致力于清洁能源的推广和应用。清华阳光公司注册资金1.535亿人民币，具有健全的法人治理结构和完善的股东行为，是规范的现代化企业。 目前，清华阳光公司已建成世界首条集热管自动化生产线和世界较大的全玻璃真空集热管生产基地，具备年产1200万支集热管和30万台热水器的生产能力，并已全面通过质量管理体...
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