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高精度激光划片机

品牌:武汉曜华

技术参考: 支持210mm大尺寸硅片

认证标准:满足IEC 61215/61730、UL 1703等国际认证

组件类型:兼容单玻(3.2mm玻璃)/双玻(2.5+2.5mm)组件,功率范围450W-670W

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  • 价   格:面议
  • 起订量:1 台
  • 发货地:湖北 武汉市
  • 发货期限:3天内发货
  • 供货总量:1000 台
  • 有效期至:长期有效
  • 最后更新:2025-11-21 11:41

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  1. 核心工作原理设备的激光器先产生特定波长的高能激光束,经反射镜、聚焦镜等光学系统聚焦成微米级极小光斑,能量密度大幅提升。光斑照射在工件表面或内部时,通过热效应让材料局部熔化、气化,或直接破坏材料化学键,同时借助精密运动平台带动工件,或通过扫描振镜控制激光束,沿预设路径形成细微沟槽。对于硅片等脆性材料,后续施加轻微机械力,就能沿沟槽将材料精准分离,整个过程实现划线制导式的高精度分割。

  2. 主要设备构成

    • 激光器:核心光源,常见光纤、紫外等类型,波长有 1064nm、532nm、355nm 等,不同波长适配不同材料加工,如紫外激光适合敏感材料的冷切割。

    • 光学与运动系统:含聚焦镜、扫描振镜等光学部件,保障光束聚焦精度;搭配 X/Y 精密运动平台,部分设备还有 θ 向旋转台,定位精度达微米级,可实现激光或工件的高速精准移动。

    • 辅助与控制系统:配备 CCD 视觉定位系统用于精准对位;干式机型有除尘真空系统,微水导机型则含水循环系统;同时搭载专用控制软件,可编辑路径、调节功率等参数,还能实时显示加工状态。

  3. 核心性能特点

    • 精度极高:聚焦后光斑极小,划线宽度可低至数微米,划线精度普遍≤±10μm,重复定位精度达微米级,能满足半导体芯片、薄硅片等精细加工需求。

    • 加工损耗小:非接触式加工避免工件磨损、崩边;脉冲激光作用时间短,热影响区极小,减少材料性能劣化,尤其适合脆薄材料。

    • 灵活高效:可加工直线、曲线等任意图形,修改程序即可切换加工方案;搭配双工位工作台等设计,划片速度可达 200mm/s 以上,适配批量化生产。

  4. 主流分类

    • 按激光类型分:有 YAG 激光划片机、半导体激光划片机、光纤激光划片机等。其中光纤型光束质量好、免维护,是当前主流类型之一;紫外激光划片机则因热影响小,常用于高精度敏感材料加工。

    • 按加工方式分:包括干式和微水导激光划片机。干式又有烧蚀加工、隐形切割等方式,隐形切割适合薄型晶圆;微水导机型借助高压水柱传输激光,兼具无热损伤和洁净加工的优势。

  5. 核心应用领域

    • 光伏行业:用于单晶硅、多晶硅太阳能电池片划片,切割成半片等小单元,减少电流损失以提升组件效率。

    • 半导体与 LED 行业:可对硅晶圆划片分割成单个芯片,也能处理 LED 的蓝宝石衬底,解决高硬度材料的分离难题。

    • 其他领域:还适用于陶瓷基板、特种玻璃、红外光学晶体等材料的精密切割,以及部分精密量具的刻制加工。


供应商信息
公司名 经营模式 暂未公布
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公司所在地 湖北 武汉市 企业类型 暂未公布
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